多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統(tǒng)
德高潔多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統(tǒng)使用時(shí)利用上下移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)高壓氣體噴吹以及特殊旋轉(zhuǎn)刷組合機(jī)構(gòu)近距離對(duì)反應(yīng)釜表面進(jìn)行噴吹和接觸式清掃達(dá)到清洗的目的。通過清洗旋轉(zhuǎn)調(diào)速機(jī)構(gòu)可滿足各工況的要求。清洗的同時(shí)采用特殊除塵凈化器一次性進(jìn)行除塵凈化。[查看詳情]
自動(dòng)化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
自動(dòng)化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是德高潔獨(dú)立自主研發(fā)，其工作原理是以水力自驅(qū)動(dòng)三維自動(dòng)旋轉(zhuǎn)噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。[查看詳情]
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