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隨著智能電網、汽車電氣化等應用領域的發展，由于高功率密度和緊湊性，功率半導體器件被廣泛應用于幾乎所有的電子制造業，目前使用領域正從傳統工業制造和4C產業向新能源、電力機車、智能電網等領域發展。如何準確評估功率器件的可靠性變得至為關鍵。

功率器件常見測試項目

1. 產品特性測試

- 靜態參數測試（靜態參數·特性曲線）：

最基本的測試項目，可簡單的評估器件的性能好壞。

各種靜態參數為使用者可靠選擇器件提供了非常直觀的參考依據、同時在變頻器，焊機，軌道交通中的功率器件檢測維修，發揮了至關重要的作用。

- 動態參數測試（開關特性·反向恢復·電容特性·柵極電荷）：

動態參數的優良決定著器件的開關性能。

通常我們希望功率半導體器件的開關速度盡可能得高、開關過程短、損耗小。但是在實際應用中，影響開關特性的參數有很多，如續流二極管的反向恢復參數，柵極/漏極、柵極/源極及漏極/源極電容、柵極電荷的存在，所以針對于此類參數的測試，變得尤為重要。開關特性決定裝置的開關損耗、功率密度、器件應力以及電磁兼容性。直接影響變換器的性能。因此準確的測量功率半導體器件的開關性能具有極其重要的意義。

- 短路能力：功率半導體器件的關鍵性能指標

SiC MOSFET具有低損耗、耐高壓、導通電流大、開關速度快和溫度穩定性好等優點，在電動汽車、鐵路、風力發電、光伏逆變器、柔性直流輸電等商用領域均得到應用。隨著SiC MOSFET應用場景進一步拓寬，所面對的工況也日益復雜，可能面對過流乃至更極端的短路的挑戰。器件的短路耐受能力直接決定了對故障保護和預防器件失效的設計，因此對其進行測試是十分必要且重要的。

- 極限能力測試：如浪涌電流測試，雪崩能量測試。

浪涌電流是指電源接通瞬間或是在電路出現異常情況下產生的遠大于穩態電流的峰值電流或過載電流。雪崩耐量即向半導體的接合部施加較大的反向衰減偏壓時，電場衰減電流的流動會引起雪崩衰減，此時元件可吸收的能量稱為雪崩耐量。

2. 可靠性測試

老化可靠性壽命測試：為了保證產品的耐久性能，也就是產品使用的壽命。半導體功率器件廠家在產品定型前都會做一系列的可靠性試驗，以確保產品的長期耐久性能。

這里一般涉及到：功率循環、高溫反偏、高溫柵偏、高溫高濕反偏、溫度循環、溫度沖擊、高低溫存儲、間歇性壽命測試等各項測試。